主要采用高精度化学腐蚀或者激光切割和焊接工艺来制备不锈钢掩模板。

按照目前的工艺条件，特点如下，供大家参考。

1.性价比高的是在0.3mm厚度的304不锈钢钢板上通过化学腐蚀制作线条宽0.4mm(400um)，镂空（挖孔）0.4mm(400um)，误差是30-60um，速度较快，成本相对较低。

2.高精度化学腐蚀可以制作线宽0.1mm(100um)的叉指电极掩膜版，实体部分误差30um，空隙部分误差60um，请合理考虑误差，并根据误差情况，设计好自己的图案结构，图案结构设计合理，能事半功倍。价格相对较贵。 

3.超高精度的激光加工可以制作线宽0.04mm(40um)的掩膜版，误差20um，价格贵。 

掩模板可以应用于电子束蒸发，热蒸发，磁控溅射等设备中，用来制备OPV、OLED、钙钛矿太阳能电池，光电探测器，场效应晶体管等各种器件图形化薄膜和电极。